反射式膜厚測(cè)量?jī)x在薄膜厚度測(cè)量的應(yīng)用

  使用臺(tái)階儀或其他萬分尺長(zhǎng)度量測(cè)儀器，單層能到到準(zhǔn)確的數(shù)值，操做簡(jiǎn)單，多層不能直接測(cè)量，要做出相對(duì)厚度，有臺(tái)階的樣品或其他才可以測(cè)量。

  使用我們反射式膜厚測(cè)試，直接根據(jù)材料特性（單層/多層）設(shè)置好菜單，通過標(biāo)準(zhǔn)硅片校準(zhǔn)后，直接一鍵量測(cè)，直接測(cè)量出單層/多層膜厚，不會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成損傷，可以離線也可以在線量測(cè)。測(cè)量多層膜厚基本上不需要單獨(dú)制樣，只是在解析某一膜層折射率（材料庫無信息）時(shí)有初次制樣需求。

  反射式膜厚測(cè)量?jī)x可用于測(cè)量：半導(dǎo)體鍍膜，手機(jī)觸摸屏ITO等鍍膜厚度，PET柔性涂布的膠厚等厚度，LED鍍膜厚度，建筑玻璃鍍膜厚度及其他需要測(cè)量膜厚的場(chǎng)合。可測(cè)量：2nm到3000μm的膜厚，測(cè)量精度達(dá)到0.1nm。 在折射率未知的情況下，還可用于同時(shí)對(duì)折射率和膜厚進(jìn)行測(cè)量。此外，設(shè)備也可用于準(zhǔn)確測(cè)量樣品的顏色和反射率。樣品光斑在1mm以內(nèi)。
  進(jìn)行測(cè)量簡(jiǎn)單可靠，實(shí)際測(cè)量采樣時(shí)間低于1秒。

  配合我們的專*軟件進(jìn)行手動(dòng)測(cè)量，每次測(cè)量時(shí)間低于5秒。軟件支持50層膜以內(nèi)的模型并可對(duì)多層膜厚參數(shù)進(jìn)行測(cè)量。我們軟件擁有近千種材料的材料數(shù)據(jù)庫，同時(shí)支持函數(shù)型(Cauchy, Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光學(xué)（Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz）,混合型（Maxwell Garnett, Bruggeman）EMA 等折射率模型。

  同時(shí)，客戶還可以通過軟件自帶數(shù)據(jù)庫對(duì)材料，菜單進(jìn)行管理并回溯檢查測(cè)量結(jié)果。